VPSA制氧装置采用正压吸附，真空解吸的低压比VPSA工艺流程。主要设备包括：空气压缩系统、吸附解吸系统、仪表控制系统、电气控制系统、仪表空气系统、氧气压缩系统等。工艺流程简述:原料空气经过滤器去除机械杂质后，经空气压缩系统加压处理后进入吸附器。空气进入吸附器后，经过预吸附剂床层后，空气中水分、二氧化碳等杂质···

VPSA制氧系统主要由鼓风机、真空泵、切换阀、吸附器和氧气平衡罐组成。原料空气经吸入口过滤器除掉灰尘颗粒后,被罗茨鼓风机增压至0.3-0.5barg而进入其中一只吸附器内。吸附器内装填吸附剂,其中水分、二氧化碳、及少量其它气体组分在吸附器入口处被装填于底部的活性氧化铝所吸附,随后氮气被装填于活性氧化铝上部的沸石分子筛